99,7% aluminiumoxid wafer polerplatta

Kort beskrivning:

Chemshun 99,7 % Al2O3 aluminiumoxidsubstrat är ett högrent material och ett nytt material i stor skala. Det har utmärkta fysikaliska egenskaper och stabila kemiska egenskaper, och är prisvärt jämfört med andra material. Högrent aluminiumoxid utvecklas ständigt av globalt ledande forskning och avancerade keramik- och finkeramikfabriker.

99,7 % aluminiumoxidskivapoleringsplatta för kemisk-mekanisk polering. Som en viktig komponent i CMP:s kemisk-mekaniska poleringsprocessen är CMP nödvändig för produktionsprocessen av safir och skivor i halvledare.

Chemshun Ceramics högrenhetsplåtar för polering och läppning av safir av aluminiumoxidkeramik med 99,7 % aluminiumoxidkeramik, skivor är formade enligt PIBM-produktionsprocess. Det är en internt avancerad teknik. PIBM löser framgångsrikt det viktigaste problemet med sprickbildning och deformation i storskalig aluminiumoxidkeramik. PIBM-tekniken öppnar ett nytt fönster för finkeramik.

Skicka e-post till oss

Produktinformation

Ansökan

Som poleringsskivor av aluminiumoxidkeramik och safirlappningsskivor som används i halvledande, diamantpolering etc.

Process: Alla typer av polerings- och läppningsprocesser, såsom CMP kemisk-mekanisk polering, mekanisk polering, precisionspolering.

Särdrag

Hög renhet och kemisk hållbarhet
Hög mekanisk styrka och hårdhet
Hög korrosionsbeständighet
Högspänningsresistans
Hög temperaturbeständig upp till 1700ºC
Extremt slitstark prestanda
Utmärkt isoleringsprestanda
Alla typer av storlekar 180, 360, 450, 600 mm etc.

Produktnamn	99,7 högrenhet aluminiumoxidkeramiska poleringsskivor för läppning
Material	99,7 % aluminiumoxid
Normal storlek	D180, 360, 450, 600 mm, anpassade storlekar accepteras.
Färg	Elfenben
Ansökan	Wafer- och safir-CMP-process i halvledarindustrin
Min. beställning	1 bild

Kemisk/fysikalisk information

		Enhet	99,7 Aluminiumoxidkeramik
Allmänna egenskaper	Al2O3-innehåll	viktprocent	99,7–99,9
	Densitet	gm/cc	3,94–3,97
	Färg	-	Elfenben
	Vattenabsorption	%	0
Mekaniska egenskaper	Böjhållfasthet (MOR) 20 ºC	Mpa(psix10^3)	440-550
	Elasticitetsmodul 20ºC	GPa (psix10^6)	375
	Vickers hårdhet	Gpa (kg/mm²) R45N	>=17
	Böjstyrka	GPA	390
	Draghållfasthet 25ºC	MPa(psix10^3)	248
	Brottseghet (KI c)	MPa* m^1/2	4-5
Termiska egenskaper	Värmeledningsförmåga (20ºC)	V/mk	30
	Värmeutvidgningskoefficient (25-1000ºC)	1x 10^-6/ºC	7.6
	Termisk chockbeständighet	ºC	200
	Maximal användningstemperatur	ºC	1700
Elektriska egenskaper	Dielektrisk styrka (1 MHz)	ac-kv/mm(ac v/mil)	8,7
	Dielektrisk konstant (1 MHz)	25ºC	9,7
	Volymresistivitet	ohm-cm (25ºC)	>10^14
		ohm-cm (500ºC)	2×10^12
		ohm-cm (1000ºC)	2×10^7

Service

Vi accepterar specialbeställningar.
Om du vill veta mer produktinformation, tveka inte att kontakta oss så ger vi dig den mest lämpliga produkten och bästa servicen!